製品名
スラリーポンプ
製品型番
PCシリーズ
製品タイプ
CMPプロセス・スラリー用
製品概要
接液部の部品は全てふっ素樹脂製のため、耐薬品性、耐熱性、クリーン性の高いポンプです。
CMPプロセス・スラリー用途に適した設計の製品です。
材質
接液部：PFA、PTFE
製品用途
スラリー液を使用した薬液供給设备・洗浄设备・CMP设备の循環ライン
製品仕様
使用液温度：10～100℃
最大吐出量：12，24，48L/min
供給空気圧力：0.2～0.5MPaG
※使用する際に取扱説明書を読んでください
